本院各實驗室依法令規定申請固定污染源設置、操作許可證並設置專責人員，落實空氣污染防制處理措施，減少揮發性有機物（VOCs）、氮氧化物（NOx）、硫氧化物（SOx）及粒狀污染物（PM）等空氣污染物的排放。本院空氣污染防制設備適用於不同污染物，對於特定毒性、易燃性及全氟化物製程尾氣，設置空氣污染防制處理設備，應用吸附、燃燒裂解等特殊處理技術，將處理過的廢氣送至中央排氣洗滌塔進行水洗中和後排放。

本院委託環境部核可之檢測機構進行空氣污染物排放濃度檢測，2023 年本院檢測申報之揮發性有機物排放量為 1.74 公噸、氮氧化物 0.70 公噸、硫氧化物 0.04 公噸及粒狀污染物 0.01 公噸，各排放管道檢測結果均低於環境部規定之排放標準，不僅呈現本院的嚴謹管理，更展現了對永續環境發展的承諾。

年度空氣污染物排放情形

註：
1. 本院空氣污染物排放量依法規項目申報。
2. 範圍涵蓋中興院區電光系統所、機械所及六甲院區材化所。