
半導體先進封裝高深寬比矽穿孔(Through Silicon Via, TSV)量測技術以反射式光譜干涉設計高準直光路,突破高深寬比Through Silicon Via (TSV)非破壞量測瓶頸,提升半導體先進封裝關鍵尺寸檢測效率與良率。結合AI可實現多參數單訊號量測,減少耗材浪費,並已成功商品化,帶動產業經濟效益。
環境(E)
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社會(S) |
治理(G) |
減少傳統晶圓需破片檢測造成10% 耗材浪費 |
先進量測研發及新創有助於推動人才培養及社會就業 |
加強國內半導體技術深度,提升國際永續發展鏈結,並推動產業經濟效應 |
解決方案 |
提供半導體先進封裝檢測設備及檢測服務,能檢測超過深寬比30:1 之結構,且比掃描式電子顯微鏡(Scanning electron microscope, SEM)的破壞式檢測方便,突破當前檢測需求瓶頸,緊密扣合當前半導體先進封裝關鍵製程快速發展趨勢,切入高階半導體檢測設備領域。 |
科技應用 |
+ 以反射式光譜干涉為基礎,設計高準直光路,藉由 TSV 孔底與晶圓表面干涉,可成功量測高深寬比TSV 樣本。 + 應用於半導體先進封裝製程重要關鍵尺寸量測上,並可回饋製程改善良率,來提升半導體製程能力。
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成果展示 |
+ 獲得「TREE2022創業潛力獎」、「2022產業技術創新獎」、「TIE2022最佳人氣獎」、「TREE2022 評審青睞獎」,並參加國際 CES 2023 展覽活動。 + 完成第一台半導體 TSV 自動化檢測機台,衍伸新創公司「歐美科技」於2024 年2 月成立,已吸引德律、研創資本、新纖注資。
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